保有ステルスダイサー比較表

装置型式 ML300PlusⅢFH
導入時期 2015.11
Engine Type 700SP5
Laser Type Fiber Laser
Thick.-scans <100>(Ex.) 400um  4~5scans
Feed Speed 450mm/s
Max out power 2.1W
高品位加工
(蛇行コントロール機能)
レーザー ON/OFF機能 ○ パルス幅によりコントロール
SD入射面 表裏面可能(IRカメラ)
テープ越し加工
ウエハ径  
マルチウエハ(異形状)
ワーク厚さ 厚型有利  200~775umt
加工対象基板 MEMS、異形状







ML300PlusⅢFH (東京精密)

型式:ML300PlusⅢFH( 株式会社東京精密 )
適用ウェハー:SiΦ2~Φ12"  
特徴:ML200同様に純水、ブレードを使用しない光学的損傷現象を利用したダイシング技術モジークカット
(レーザーON/OFF)で異形状(マルチウエハ、ゼブラウエハ)にレイアウトされたウエハ加工を実現


ISO9001(2016年審査登録)に基づいた総合的な品質マネジメントシステムの下、設計・開発、
生産製品の出荷にいたるまでのあらゆる過程で品質保証活動を行っております。



   
  

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