保有ステルスダイサー比較表
| 装置型式 | （旧）ML200 | ML300PlusⅢFH |
|---|---|---|
| 導入時期 | 2015.11 | |
| Engine Type | 400S | 700SP5 |
| Laser Type | YAG Laser | Fiber Laser |
| Thick.-scans <100>(Ex.) | 400um 10～12scans |
400um 4～5scans |
| Feed Speed | 300mm/s | 450mm/s |
| Max out power | 1.2W | 2.1W |
| 高品位加工 (蛇行コントロール機能) |
パルス幅によりコントロール |
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| レーザー ON/OFF機能 | ||
| SD入射面 | 表裏面可能(IRカメラ) | 表裏面可能(IRカメラ) |
| テープ越し加工 | ||
| ウエハ径 | φ4～φ8 | φ4～φ12 |
| マルチウエハ(異形状) | ||
| ワーク厚さ | 薄型有利 50～625um |
厚型有利 200～775umt |
| 加工対象基板 | MEMS | MEMS、異形状 |
型式：ML300PlusⅢFH(株式会社東京精密)
適用ウェハー：Siφ0.5～φ12"
特徴：ML200同様に純水、ブレードを使用しない光学的損傷現象を利用したダイシング技術モジークカット
(レーザーON/OFF)で異形状(マルチウエハ、ゼブラウエハ)にレイアウトされたウエハ加工を実現