各種ウエハーのダイシング(切断)のご要求にお答えします

全てのチッピング発生をなくすため、特殊ブレードを採用。
ダイシングの品質が特に重要視されるフリップチップ実装。
AK電子では、ウェハー切断時に発生する全てのチッピング発生をなくすため、品質向上に努めております。


ML200
(東京精密)
ml300plus3fh
ML300PlusⅢFH
(東京精密)


DFD-6340
( ディスコ )

DFD-6341
(ディスコ)

DFD-6361
( ディスコ )

SS20
( 東京精密 )

* 2015/11にML300PlusⅢFH(東京精密)を新規導入。詳細情報(保有ステルスダイサー比較表)
対応ウエハ:4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、12インチ

SD加工画像

詳細情報はこちら<メーカーリンク>

ステルスダイシング

型式:ML300PlusⅢFH( 株式会社東京精密 )
適用ウェハー:SiΦ2~Φ12"  
特徴:ML200同様に純水、ブレードを使用しない光学的損傷現象を利用したダイシング技術モジークカット(レーザーON/OFF)で異形状(マルチウエハ、ゼブラウエハ)にレイアウトされたウエハ加工を実現 MAHOHDICING
画像および比較表はこちら


型式:ML200 ( 株式会社東京精密 )
適用ウェハー:SiΦ2~Φ8”
特徴:純水、ブレードを使用しない光学的
損傷現象を利用したダイシング技術
MAHOHDICING


ブレードダイシングで必要なカーフロスは
0μm となりダイシングストリート幅の設計
を大幅に縮小することが可能になります。
ウェーハあたりのチップ収率を極限まで
高められる技術です。

  

真空テープ貼り付け装置(新規導入)

VTL-100(NECエンジニアリング)
適用ウェハー:SiΦ2~Φ8”

ウエハーエキスパンダー

EX-812 (弊社:AK電子オリジナル装置)


フルオートダイシングソー(8,12インチ対応)

DFD-6361( ディスコ/DISCO DUAL SAW )
ワークの搬送・アライメント・カット・洗浄/乾燥までを一貫して行うフルオートダイシングソーです。

DFD6341は、φ300 mm対応機DFD6362で培ったスループット向上技術を取り入れた最新のφ8” 対応フルオートデュアルダイシングソーです。 (下記追加掲載あり)

フルオートダイシングソー(6, 8インチ対応)

DFD-6340( ディスコ/DISCO DUAL SAW)
ワークの搬送・アライメント・カット・洗浄/乾燥までを一貫して行うフルオートダイシングソーです。 品質は勿論のこと、お客様のニーズに対応できるよう様々な改善がされています。

ウエハーマウンター

RAD2500/12(リンテック)
ウエハーをダイシングテープへ貼る※プリカット

UV照射機

PNC-400(コスモ技研)
UVフィルム粘着度を下げる。
12インチまで対応


詳細情報はこちら<メーカーリンク>


サークルカット(ダウンサイジング)


※サークルカット・エッジアライメントソフト導入。(ダウンサイジング)
※ダウンサイシンジ:φ12→φ8・φ5・φ4・φ3・φ2(ミニマルファブφ0.5)まで対応可能。
※同じくφ6,・φ5・φ4・φ3よりφ2まで対応可能。
※エッジトリミング加工も対応可能となりました。

TAIKOウエハのリブカット



ISO9001(2016年審査登録)に基づいた総合的な品質マネジメントシステムの下、設計・開発、
生産製品の出荷にいたるまでのあらゆる過程で品質保証活動を行っております。



   
  

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